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  • 光刻掩膜版是光刻工艺中重要的材料之一，业内又称光罩版，掩膜版，光刻版。 光刻版类型：石英基片、苏打玻璃基片、菲林版
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光刻版类型 ·石英基片
·苏打玻璃基片
·菲林版
工艺能力 ·2.5英寸-9英寸可定制
·苏打版精度±0.3um
·石英版精度±0.1um

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